XYA-63高真空直通型閥，日本SMC

不銹鋼制高真空L型閥／直通閥  XM/XY
注）對直通型無尺寸16的閥。	系列/CAD (L型/直通型) 動作方式 軸密封方式 閥形式 材質(zhì) 法蘭尺寸 XMA/XYA  氣控 波紋管密封 單作用 (N.C.) 閥體： 　 SCS13 　 (相當SUS304)  波紋管： 　 SUS316L 16～80注） XMC/XYC  雙作用 XMD/XYD  波紋管 O型圈密封 單作用 (N.C.) 閥體： 　SCS13 　(相當SUS304) 波紋管： 　SUS316L 25～80 XMH/XYH  手動 波紋管密封 手動 閥體： 　SCS13 　 (相當SUS304) 波紋管： 　SUS316L 16～50注） 特長 采用鑄造一體化結(jié)構(gòu)，無氣體滯留。 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)

產(chǎn)品規(guī)格
電導(dǎo)（l / s）注1）
泄漏（Pa·m3
/ s）的
運行時間（s）
法蘭（閥門）尺寸
閥門類型
流體
工作溫度（°C）
操作壓力（Pa）
法蘭型
主要材料注3）
導(dǎo)壓力（MPa）
試點港口規(guī)模
主排氣閥
初始排氣閥
常閉（加壓打開，彈簧密封）[主要和初始排氣閥]
惰性氣體在真空下
5至60（高溫型：5至150）
大氣壓力為1 x 10-6
在環(huán)境溫度下為1.3×10 -10 {1×10 -10}，不包括氣體滲透
在環(huán)境溫度下為1.3×10-11 ，不包括氣體滲透
0.4至0.7 [主排氣門和初始排氣門]
（kg）注2）
注1）主排氣閥傳導(dǎo)性是尺寸相同的彎管分子流的閥。初始排氣閥是粘性的值
流。

XYA-63高真空直通型閥，日本SMC
初始排氣閥開度調(diào)整
操作前應(yīng)調(diào)整初始排氣速率（帶駕駛員
端口S處于未加壓狀態(tài)）。
通過轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)螺母將初始排氣速率設(shè)置為零
順時針旋轉(zhuǎn)直至停止。 （不要使用工具。）
通過逆時針旋轉(zhuǎn)螺母來調(diào)整初始排氣速率。
調(diào)整螺母的數(shù)量（其螺距為1毫米）旋轉(zhuǎn)和初始
應(yīng)參照上圖確認排氣導(dǎo)流
正確的。
x初始排氣閥（閥S）打開
當向?qū)Ф丝赟施加壓力時，閥S被移除
從閥門S組件打開并打開，直到調(diào)整的開度
設(shè)置。
c主排氣閥（閥M）
當向?qū)Э贛施加壓力時，閥M被移除
從車身座椅表面*打開。
v關(guān)閉初始排氣閥，主排氣閥
通過去除兩個閥的導(dǎo)端口S和M的壓力
回到他們的密封位置。
注2）（）中的數(shù)字表示CF（配合）配件的。
注3）在真空部分的密封材料滑動部分（初始排氣閥滑動部分）上涂覆真空脂[Y-VAC2]涂層。
閥體：SCS13（符合不銹鋼SUS304）波紋管：不銹鋼SUS316L
波紋管支架：不銹鋼SUS304。 FKM（標準密封材料）